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四探針電阻率 方阻分析儀 靈敏度四探針電阻率 方阻檢測(cè)儀

  • 簡(jiǎn)單描述
  • DL04-KDY-1型四探針電阻率/方阻測(cè)試儀(以下簡(jiǎn)稱(chēng)電阻率測(cè)試儀)是用來(lái)測(cè)量半導(dǎo)體材料(主要是硅單晶、鍺單晶、硅片)電阻率,以及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測(cè)量?jī)x器。它主要由電氣測(cè)量部份(簡(jiǎn)稱(chēng):主機(jī))、測(cè)試架及四探針頭組成。
  • 產(chǎn)品型號(hào):  DL04-KDY-1
  • 更新時(shí)間:  2024-11-19
  • 訪問(wèn)次數(shù):  1614
詳細(xì)介紹

四探針電阻率 方阻測(cè)試儀 靈敏度四探針電阻率 方阻檢測(cè)儀

型號(hào):DL04-KDY-1                          

 產(chǎn)品介紹

DL04-KDY-1型四探針電阻率/方阻測(cè)試儀(以下簡(jiǎn)稱(chēng)電阻率測(cè)試儀)是用來(lái)測(cè)量半導(dǎo)體材料(主要是硅單晶、鍺單晶、硅片)電阻率,以及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測(cè)量?jī)x器。它主要由電氣測(cè)量部份(簡(jiǎn)稱(chēng):主機(jī))、測(cè)試架及四探針頭組成。

本儀器的特點(diǎn)是主機(jī)配置雙數(shù)字表,在測(cè)量電阻率的同時(shí),另一塊數(shù)字表(以萬(wàn)分之幾的精度)適時(shí)監(jiān)測(cè)全程的電流變化,免除了測(cè)量電流/測(cè)量電阻率的轉(zhuǎn)換,更及時(shí)掌控測(cè)量電流。主機(jī)還提供精度為0.05%的恒流源,使測(cè)量電流高度穩(wěn)定。本機(jī)配有恒流源開(kāi)關(guān),在測(cè)量某些箔層材料時(shí),可免除探針尖與被測(cè)材料之間接觸火花的發(fā)生,更好地保護(hù)箔膜。儀器配置了本公司的產(chǎn)品:“小游移四探針頭”,探針游移率在0.10.2%。保證了儀器測(cè)量電阻率的重復(fù)性和準(zhǔn)確度。本機(jī)如加配HQ-710E數(shù)據(jù)處理器,測(cè)量硅片時(shí)可自動(dòng)進(jìn)行厚度、直徑、探針間距的修正,并計(jì)算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的zui大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均習(xí)庋。給測(cè)量帶來(lái)很大方便。

2、主機(jī)技術(shù)能數(shù)

1)測(cè)量范圍:

可測(cè)電阻率:0.000119000Ω•cm

可測(cè)方塊電阻:0.0011900Ω•□

2)恒流源:

輸出電流:DC 0.001100mA 五檔連續(xù)可調(diào)

量程:0.0010.01mA

0.010.10mA

0.101.0mA

1.010mA

10100mA

恒流精度:各檔均低于±0.05%

3)直流數(shù)字電壓表:

測(cè)量范圍:0199.99mV

靈敏度:10μV

基本誤差:±(0.004%讀數(shù)+0.01%滿度)

輸出電源:≥1000ΩM

4)供電電源:

AC 220V±10% 50/60 Hz 功率:12W

5)使用環(huán)境:

溫度:23±2 相對(duì)濕度:≤65%

無(wú)較強(qiáng)的電場(chǎng)干擾,無(wú)強(qiáng)光直接照射

6)重量、體積:

主機(jī)重量:7.5kg

體積:365×380×160(單位:mm 長(zhǎng)度×寬度×高度)

備注:

等級(jí)測(cè)量時(shí)(測(cè)電阻率),精度<3%

電氣測(cè)量時(shí)(測(cè)電阻),精度在0.3%以?xún)?nèi)

10μV)

 

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:李

 

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